लिथोग्राफी मेसिन मास्क एलाइनर फोटो-एचिङ मेसिन

विशिष्टता

1. एक्सपोजर क्षेत्र: 110mm × 110mm；
2. ★ एक्सपोजर तरंगदैर्ध्य: 365nm;
3. संकल्प: ≤ 1m;
4. पङ्क्तिबद्ध शुद्धता: 0.8m;
5. पङ्क्तिबद्ध प्रणालीको स्क्यानिङ तालिकाको गति दायरा कम्तिमा पूरा हुनेछ: Y: 10mm;
6. पङ्क्तिबद्ध प्रणालीको बायाँ र दायाँ लाइट ट्यूबहरू X, y र Z दिशाहरूमा, X दिशा: ± 5mm, Y दिशा: ± 5mm र Z दिशा: ± 5mm;
7. मास्क साइज: 2.5 इन्च, 3 इन्च, 4 इन्च, 5 इन्च;
8. नमूना आकार: टुक्रा, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ नमूना मोटाईको लागि उपयुक्त: 0.5-6mm, र अधिकतम 20mm नमूना टुक्राहरूलाई समर्थन गर्न सक्छ (अनुकूलित);
10. एक्सपोजर मोड: समय (काउन्टडाउन मोड);
11. प्रकाशको एकरूपता नहुनु: 2.5%;
12. दोहोरो क्षेत्र CCD पङ्क्तिबद्ध माइक्रोस्कोप: जुम लेन्स (1-5 पटक) + माइक्रोस्कोप उद्देश्य लेन्स;
13. नमूनाको सापेक्ष मास्कको चाल स्ट्रोक कम्तिमा मिल्नुपर्छ: X: 5mm; Y: 5mm; : ६º
14. ★ एक्सपोजर ऊर्जा घनत्व: > 30MW / cm2,
15. ★ पङ्क्तिबद्ध स्थिति र एक्सपोजर स्थिति दुई स्टेशनहरूमा काम गर्दछ, र दुई स्टेशन सर्वो मोटर स्वचालित रूपमा स्विच गर्दछ;
16. लेभलिङ कन्ट्याक्ट प्रेसरले सेन्सर मार्फत दोहोरिने योग्यता सुनिश्चित गर्दछ;
17. ★ पङ्क्तिबद्ध अंतर र एक्सपोजर अंतर डिजिटल रूपमा सेट गर्न सकिन्छ;
18. ★ यसमा नैनो छाप इन्टरफेस र निकटता इन्टरफेस छ;
19. ★ टच स्क्रिन सञ्चालन;
20. समग्र आयाम: लगभग 1400mm (लम्बाइ) 900mm (चौडाई) 1500mm (उचाइ)।